当前位置: 信息机 >> 信息机前景 >> 解密联芯半导体抢得市场先机东芝索
1、联芯半导体抢得市场先机
2、小鹏汽车公开“电池箱、动力电池总成及车辆”等3项专利
3、东芝、索尼、三星输掉欧盟反垄断上诉官司被罚1.16亿欧元
1、联芯半导体抢得市场先机联芯的半导体专利,通过在第二方向经狭缝开口以倾斜的角度对铜线段进行检测,可以实现在线立即的监控,及时发现清洁步骤后的铜损失制作工艺缺陷。集微网消息,凭借28纳米芯片需求,联芯第一季度营运顺利转营,单季获利较去年第四季的小幅亏损有了大幅改善。在双镶嵌工艺的后段制作工艺中,必须去除在执行蚀刻步骤以形成开口之后残留的污染物,例如氧化铜、微粒或聚合物。在常规清洁步骤中,常使用溶剂去除。然而,清洁步骤引起的铜损失可能导致电性失效,并且影响到制作工艺良率。目前,该技术领域仍缺乏即时监控技术可以在线立即的发现到清洁步骤后的铜损失制作工艺缺陷,而是需要通过费时的晶片侦测和故障分析才能过滤出电性功能不良的芯片。为此,联芯于年8月26日申请了一项名为“半导体元件”的发明专利(申请号:10987051.8),申请人为联芯集成电路制造(厦门)有限公司。图1半导体元件制作方法示意图图1为半导体元件制作方法示意图,半导体中包含基底,其上具有切割道区域SL和主动电路区域CR且二者临近。在基底上有第一介电层,其上形成有盖层。在主动电路区域内的第一介电层中有铜内连结构ML。在切割道区域内的第一介电层中有铜线段MS,构成监控图案MP。铜线段MS包含第一末端E1和第二末端E2,第二末端电耦合到电荷累积结构CAS。盖层上另形成有第二介电层,其上为图案层,图案层上形成平坦化层,其上又形成光致抗蚀剂图案层PR。接着,进行各向异性干蚀刻制作工艺,向下蚀刻光致抗蚀剂图案层、平坦化层,以及未被图案层遮盖住的第二介电层和盖层,然后继续进行清洁制作工艺,去除残留的污染物。图2切割道区域内监控图案示意图图2为切割道区域内监控图案示意图,监控图案MP在切割道区域SL中,其中包含嵌入第一介电层中并且沿第一方向D1延伸的铜线段,铜线段MS包含第一末端E1,其具有第一侧壁面S1、第二侧壁面S2和位于他们之间的顶面TS。第二介电层覆盖第一介电层和铜线段。狭缝开口位于第二介电层中并延伸至第一介电层中,从而暴露出铜线段的顶面TS、第一侧壁面S1及第二侧壁面S2。狭缝开口沿与第一方向正交的第二方向延伸。铜线段的一端面ES暴露在狭缝开口中。本发明的主要特点在于:狭缝开口沿与第一方向正交的第二方向延伸,如此能够使铜线段显露出第一末端的第一侧壁面、第二侧壁面和顶面。这使得进行电子显微镜扫描时,可以在第二方向通过狭缝开口以倾斜的角度对铜线段进行检测,实现了在线立即的监控铜损失制作工艺缺陷。而且,通过使铜线段的第二末端电耦合到电荷累积结构CAS,例如,电容器的上电极板或者电感器,大幅的增加了监测的灵敏度。简而言之,联芯的半导体专利,通过在第二方向经狭缝开口以倾斜的角度对铜线段进行检测,可以实现在线立即的监控,及时发现清洁步骤后的铜损失制作工艺缺陷。联芯致力于集成电路制造,提供客户在中国制造芯片的选择,同时贴近国内市场,满足更多本地IC设计业者的需求。联芯将发挥科技无所不在的影响力,成就更美好的未来。关于嘉勤深圳市嘉勤知识产权代理有限公司由曾在华为等世界强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人组成,熟悉中欧美知识产权法律理论和实务,在全球知识产权申请、布局、诉讼、许可谈判、交易、运营、标准专利协同创造、专利池建设、展会知识产权、跨境电商知识产权、知识产权海关保护等方面拥有丰富的经验。2、小鹏汽车公开“电池箱、动力电池总成及车辆”等3项专利集微网消息(文/陈薇)天眼查App显示,广州小鹏汽车科技有限公司于6月14日公开申请的3项专利;包括“电池箱、动力电池总成及车辆”、“基于虚拟现实的场景显示系统、方法及车辆”、“一种锂电池、正负极和电解质的生产工艺以及一种车辆”。“电池箱、动力电池总成及车辆”公开号为CNA,专利摘要显示,本申请实施例涉及一种电池箱、动力电池总成及车辆。电池箱包括箱体和盖体,箱体设有用于容纳电芯模组的容纳空间,容纳空间具有一开口。盖体盖设于开口,并与箱体连接,以将电芯模组密闭在容纳空间内;其中,盖体包括本体以及隔热防护层,本体连接于箱体,隔热防护层覆盖于本体背离容纳空间的一侧。上述隔热防护层能够在电芯模组发生热失控后阻隔盖体热量,安全防护性能较好。“基于虚拟现实的场景显示系统、方法及车辆”公开号为CNA,专利摘要显示,本申请公开了一种基于虚拟现实的场景显示系统、方法及车辆,系统包括车辆信息采集设备、处理器、VR/AR显示设备以及交互式设备。车辆信息采集设备用于采集其所在车辆周边的图像,处理器用于对图像中的物体进行识别标记,基于标记后的图像进行建模得到三维虚拟场景,VR/AR显示设备用于展示三维虚拟场景,交互式设备用于响应于用户输入的交互操作生成交互控制指令,处理器还用于获取与交互控制指令对应的动态效果,并将动态效果与三维虚拟场景进行合成得到目标虚拟场景画面,并控制VR/AR显示设备显示。通过采用本申请可使用户在乘车过程中结合交互操作来查看添加了动态效果的实时三维虚拟场景画面,从而提升用户乘车过程中的趣味性,以及提升用户的乘车体验。“一种锂电池、正负极和电解质的生产工艺以及一种车辆”公开号为CNA,专利摘要显示,本发明实施例提供了一种锂电池、正负极和电解质的生产工艺以及一种车辆;锂电池包括正极、负极和电解质;其中,正极和所述电解质中,至少一个为富锂材料;所述电解质为具有相变性质的固态电解质;所述负极为无锂负极。通过本发明实施例,实现了在采用无锂负极来保证锂电池安全的情况下,通过富锂材料保持了锂电池的电池容量;且基于具有相变性质的固态电解质,减少了固态电解质中所存在的间隙,进而降低锂电池的阻抗,以及提高锂电池的循环性能。3、东芝、索尼、三星输掉欧盟反垄断上诉官司被罚1.16亿欧元6月16日消息,当地时间周四,东芝、索尼和三星电子等五家公司在向欧盟最高法院提起的反垄断案上述案中败诉,他们七年前被指操控光驱采购价格而被处以高额罚款。年,欧盟委员会对5家公司罚款1.16亿欧元(1.亿美元),其中东芝和三星电子的合资企业东芝三星存储技术公司被罚款金额最高,达4万欧元。日立-LG数据存储公司被罚款万欧元。其他被罚款的公司还包括索尼、NEC与索尼的合资企业SonyOptiarc以及广达存储公司。飞利浦因向欧盟反垄断执法机构发出警告,从而避免了罚款。欧盟委员会表示,此案涉及戴尔和惠普笔记本电脑和台式机使用的光驱。年,欧洲第二高等法院(GeneralCourt)同意欧盟委员会对这起反垄断案的裁决,并驳回了这些公司的上诉。索尼、SonyOptiarc、东芝三星存储技术公司以及广达存储公司随后向欧洲最高法院(EUCourtofJustice,CJEU)提出上诉,但后者依然支持原判。欧洲最高法院在谈到罚款时表示:“垄断参与者所依赖的任何因素或任何公共政策依据,都不能作为减少罚款的理由。”不过,法官也废除了欧洲反垄断机构的部分决定。他们认为:“欧盟委员会未能履行其陈述理由的义务,也没有证明相关企业除了参与单一和持续的侵权行为外,还存在其他侵权行为。”(网易科技)更多新闻
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